探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

　　探針臺的維護工作

　　探針測試臺x-y工作臺的分類

　　縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。

　　x-y工作臺的維護與保養

　　無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其最核心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。

　　2.1 平面電機x-y步進工作臺的維護與保養

　　平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

　　而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

　　由于平面電機的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用專用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內嵌氣孔螺母檢查是否有雜質堵塞氣孔，處理完畢后應恢復內嵌氣孔螺母原始狀態。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環境溫度15～25 ℃，相對濕度小于50%的環境中，其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

　　2.2 滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養

　　相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。